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walker 發問時間: 科學其他:科學 · 2 0 年前

什麼是靶材?

靶材是什麼東西?

其用途為何?

5 個解答

評分
  • 匿名使用者
    2 0 年前
    最佳解答

    靶材(Target)是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料。

    濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法,在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生游離,經由電場的作用,向塗佈體(通常是晶圓片、玻璃等)表面附著的加工過程。因為靶材表面的電子必須用高能量電子束瞄準進行轟擊才能游離,所以形象的稱為“靶材”,轟擊之後,靶材表面的電子類似於水花四濺,這種加工過程也形象的稱為“濺鍍”。

    靶材通常是高純度的化合物或者純金屬,純度要求至少99.99%,形狀類似一片光碟,也有的靶材是長條型的,主要根據濺鍍設備的規格而定。靶材是用粉末冶鍊的方式事先做成的。

    參考資料: 自己的了解
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  • 1 0 年前

    靶材的構造是由背板與貴重金屬組成

    背板基本上是無氧黃銅所做的(因怕污染設備)

    當然也有與背板分開單獨製造的靶材

    但是因應單一規格的量產

    此種形式已經慢慢消失

    且靶材形狀因各家機械而有不同

    本人只看過俄制---橢圓

    日制---圓形靶

    背板的優劣以背板與機台越密合越好

    平整度與光華度皆會影響靶材的可用性

    因是貴重金屬所以貴重金屬的純度也是一大要素

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  • Lv 4
    2 0 年前

    靶材是濺鍍過程中不可或缺的耗材,是欲沈積薄膜的材料來源。濺鍍時,正電荷離子撞擊原子堆積緊密的靶材,靶材的原子經撞擊後散開,隨即沈積在基板上,最終形成薄膜。

      在濺鍍過程中通常只集中於靶材局部區域,無法將整個靶材完全使用,事實上,一般靶材僅只使用約三到五成,就捨棄不用。而半導體工業對靶材要求純度高,對台灣靶材不具信心,只願意倚靠國外進口的靶材,也因此靶材的市場利潤著實不小。若把使用過的靶材回收再重製,運用在對精密度要求較低的產業,比如鍍在講究美觀及表面特性的民生工業產品上,不失為業界可思考投入的產業。

      電源控制器則是鍍膜機台另一項關鍵元件,電源控制器分為直流(DC)與射頻交流(RF)電源控制器,DC直流廣泛運用在導電基材的鍍模,如鍍在刀具、模具等傳統產業鍍膜製程。RF射頻則運用於介電質薄膜的製鍍。

      在直流濺鍍系統中,若欲用介電質靶材鍍膜,在離子不斷轟擊靶面的情形下,造成靶面有正電荷累積的問題,對轟擊靶面的陽離子形成斥力,而無法繼續濺鍍。若將直流電流改為交流電流,當電壓互換時,電子受正電位之吸引而往靶材方向前進,中和靶材上的正電荷,因此解決正電荷在介質靶材上累積的問題。

      若是靶材屬絕緣材,就不適於進行DC直流濺鍍,需採用RF射頻,如鍍氧化鋁、氧化矽…等薄膜。RF射頻較常見於運用在光學薄膜、光電、電子等高科技產業鍍膜製程。

      一般來說RF射頻濺鍍系統運用較廣,市場也較大。台灣真空鍍膜設備約有八成運用在半導體與平面顯示器,只有兩成用在刀工具、模具及生醫材料上。

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  • 匿名使用者
    2 0 年前

    靶材為濺鍍時的材料。主要可應用在ITO導電玻璃、DWDM(高密度多工分配器)、CD-R、CD-RW、DVD、EMI(抗電磁波干擾)、OLED、磁性材料、感測元件、壓電材料、硬化膜、高溫超導等產品上。

    例如,根據國內產業調查單位的統計數據,在十五吋TFT面板的成本結構中,包括玻璃(2%)、靶材(1%)、彩色濾光片(13%)、偏光膜(6%)、驅動IC(10%)、背光模組(8%)以及其他中段Cell工程材料(2%)與後段模組材料(9%),合計所有材料成本佔整體生產成本的51%。

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  • 6 年前

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