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匿名使用者 發問時間: 社會與文化語言 · 2 0 年前

誰可以幫我翻譯丫??20點喔..

High-density DLC films prepared using a magnetron sputtertype negative ion source

Namwoong Paik

Diamond-like carbon (DLC) films have been deposited at room temperature using a magnetron sputter type negative ion source (MSNIS). The film characteristics such as density, surface roughness, film structure and thicknesses are obtained and analyzed using X-ray reflectivity (XRR), XPS and AFM methods. XRR results showed that the density of the film varies from 1.9 to 3.0 g/cm3 with respect to the different deposition parameters. At average negative carbon ion energy 700 eV and Cs injector temperature 150 8C, the densest film (3.0 g/cm3) was observed at 1 nm/s deposition rate. The surface roughness of the film was less than 1.0 nm in most cases for the 10-nm thickness film. XPS peak showed no Cs content on the film. The films prepared at different negative ion production yields and negative ion energies were compared. The result suggests that the density is the strong function of negative ion energy and the negative ion production yield.

Higher cathode voltage induced denser film, while Cs flow rate had optimum temperature condition around 150 8C.

3 個解答

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  • 匿名使用者
    2 0 年前
    最佳解答

    由於使用磁控管sputtertype陰離子調味汁的事被準備了的是高密度的DLC膠捲

    Namwoong Paik

    像鑽石一樣的碳(DLC)膠捲,室溫,由於使用磁控管嘟嘟噥噥說的聲音的類型陰離子調味汁(MSNIS)的事堆積了。 由於使用X線反射率(XRR),XPS,和AFM方法的事得到密度,表面粗暴,膠捲構造和厚等的膠捲的特性,分析。XRR結果,是膠捲的密度1.9表示了有關3.0g/的cm3不同的誓言證言parameter不同。 平均了的否定的碳離子能源700eV和Csinjector溫度150 8C,最細緻的膠捲(3.0g/的cm3)以1nm的/s誓言證言率被觀察了。膠捲表面粗暴是為了多的場合10nm的厚膠捲的1.0nm。 XPS頂峰對膠捲完全沒表現Cs內容。 用不同的陰離子生產產額和陰離子活力被準備了的膠捲被比較了。結果,暗示密度是陰離子能源強的機能和陰離子生產產額。Cs流速,有最適合的溫度狀態大概150 8C,不過,更高(貴)的被陰極電壓誘發細緻的膠捲。

    大致就這樣

    參考資料:  
  • 5 年前

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  • 2 0 年前

    高密度DLC 影片準備了使用磁控管sputtertype 消極離子來源 Namwoong Paik 金剛石像碳(DLC) 影片被放置了在室溫使用磁控管飛濺型消極離子來源(MSNIS) 。影片特徵譬如密度、表面坎坷、影片結構和厚度被獲得和被分析運用X-射線反射性(XRR), XPS 和AFM 方法。XRR 結果表示, 影片的密度變化從1.9 到3.0 g/cm3 談到不同的證言參量。在平均消極碳離子能量700 eV 和Cs 注射器溫度150 8C, 最密集的影片(3.0 g/cm3) 被觀察了以1 nm/s 證言率。影片的表面坎坷在許多情況下是少於1.0 毫微米為10 nm 厚度影片。XPS 不銳化顯示了Cs 內容在影片。影片準備在不同的消極離子生產出產量和消極離子能量被比較了。結果建議, 密度是消極離子能量和消極離子生產出產量的強的作用。更高的負極電壓導致更加密集的影片, 當Cs 流速有最宜的溫度條件在150 8C 附近。

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