? 發問時間: 社會與文化語言 · 1 0 年前

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Knowledge of the air flow characteristics in a clean room is considered very significant from the viewpoint of control of the cleanliness level and gaseous contaminants.

To date, visual observation of the flow pattern by hanging a long light thread from the ceiling and/or introducing a fog stream in the room is still broadly employed in onsite tests. However, this method cannot provide detailed flow characteristics, such as velocity magnitudes and turbulence quantities, in the full-scale clean room and is impractical in an operating clean room which houses many processing machines.

In the present study, therefore, a three-dimensional (3-D) ultrasonic anemometer was employed to measure the 3-D air velocity components and turbulence quantities. Generally, a laminar flow with 0.5 m/s air flow velocity is considered to be sufficient to keep the environment clean if there are no contaminant sources in the clean room.

In a working environment, however, the continuous inflow of clean air does not always keep the manufacturing process away from contamination because the particles may be entrained into the clean air via the turbulent wakes formed behind obstructions.

Besides the physical obstructions in a semiconductor clean room, turbulence can also result from other routes such as concentrated heat sources, motion of the personnel, instruments, etc.

The effect of the turbulence has been noted by Ljungqvist [i], who pointed out that even at a low speed, 0.2 m/s, turbulence is still created in the room and plays an important role in the diffusion process of the gases and particles.

2 個解答

評分
  • 1 0 年前
    最佳解答

    在一間乾淨的屋子,氣流特徵從潔淨程度和氣體汙染物,被認為是非常重大的控制觀點.至今,流程樣式的視覺觀察,是由從天花板垂懸一條長的且輕的螺紋,或者在屋子裡引進一道光束,這仍然被廣泛的使用在測試裡面,但是,這個方法無法提供詳細的流程特徵,譬如巨大的速度和動盪數量,在全方位乾淨的屋子裡因為安置許多處理機,以致有不切實際的乾淨的手術室.在本研究中,因此,一個立體的(3-D) 超音波風速表被用於測量3-D 空氣速度組分和動盪數量,大體而言, 如果在乾淨的屋子沒有汙染物來源,層流流程以0.5 m/s 氣流速度認為是足以充足的來保持環境的乾淨.在工作環境,無論如何,乾淨的空氣連續的流入,總是不能從汙穢中保留製造過程,因為被形成在阻礙之後,微粒也許透過經由乾淨的空氣來引起騷動.除物理阻礙以外,在半導體的房間, 動盪也有可能起因於其它路線,譬如被集中的人員的熱源、行動、儀器等.動盪的作用已經被林奎斯特注意了, 指出在低速0.2 m/s騷動在屋子裡仍然在改造,微粒氣體的擴散過程是一個重要的角色。

    參考資料: 請參考
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  • 1 0 年前

    空氣的知識流動 , 在一個乾淨的房間中的特性從清潔水準和氣體的污染物的控制的觀點被認為非常重要的。

    為了約會,流程的視覺觀察典型藉由懸掛來自天花板的一條長的輕線及[或] 在房間中介紹一條霧水流仍然寬廣地在 onsite 測試中被雇用。 然而, 這一個方法不能夠提供詳細說明像速度大小和喧囂量這樣的流程特性,在實物大小的乾淨房間中而且詳細說明是不實用的在一操作收容處理機器的多數的乾淨的房間。

    目前研究,因此,一個三度空間的 (3 D 的)超聲波風速計被雇用測量 3 D 的空氣速度成份和喧囂量。 如果在乾淨的房間中沒有污染物來源,通常,和 0.5 m/s 空氣流程速度的 laminar 流程被考慮充份使環境保持乾淨的。

    因為粒子可能被經由在障礙後面被形成的狂暴的守夜進入乾淨的空氣之內使乘火車,所以在工作環境中,然而,乾淨空氣的連續流入不總是使製造業的程序遠離污染。

    此外實際的障礙在一個半導體中乾淨的房間,喧囂也能起因於其他的路徑 , 像是集中的熱來源,人員,器具,等等。的運動

    喧囂的效果已經被 Ljungqvist 〔i〕注意, 指出甚至以一個低速, 0.2 m/s ,喧囂仍然在房間中被創造而且在瓦斯和粒子的散佈程序中扮演重要角色。

    參考資料: myself
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