HUANG 發問時間: 消費電子產品電視 · 1 0 年前

TFT五道光罩是什麼(array)

平面面板顯示器

TFT五道光罩是什麼(array)

3 個解答

評分
  • 楓雪
    Lv 6
    1 0 年前
    最佳解答

    其實TFT-LCD製程跟半導體製程差不多!

    就是電晶體做到完成於玻璃基板所需的次數!

    玻璃基板從清洗後,做完一道要經歷以下的動作製程!(光罩只是array中的某部份)

    沈積薄膜===>

    電晶體材料植於玻璃基板上做成薄膜!下一段光阻塗佈!

    光阻塗佈===>

    電晶體成膜後再塗上光阻薄膜!下一段曝光!光阻有分正光阻跟負光阻!

    曝光===>

    光罩上有電晶體的圖案經過曝光後(紫外線光),光阻薄膜會有光罩上的圖案(一個完整電晶體的某一部份)!下一段顯影!

    顯影===>

    曝光後基板上沒有被紫外線照到的地方用有機溶劑洗掉!(被紫外線光照到的地方會有化學反應所以不會被有機溶劑溶掉!<===使用正光阻,負光阻相反被照到的會被洗掉!)下一段蝕刻!

    蝕刻===>

    在蝕刻前會被烤一下因為要把顯影後的光阻圖案跟玻璃基板緊密黏合在一起,在蝕刻時才不會被剝離下來,蝕刻是把沒有光阻圖案的地方也就是電晶體材料蝕刻掉,有光阻圖案的地方不會被蝕刻掉!下一段去光阻

    剝膜(去光阻)===>把蝕刻完的玻璃基板上光阻圖案,再用去光阻液洗掉!

    完成一道TFT光罩!

    http://ohohsuperman.myweb.hinet.net/TFT_LCD.rar <==這是友逹光電的TFT-LCD的製程!array有二段在跑下方為電晶體,上方為CF(彩色濾光板)製程跟電晶體差不多但CF是把三原色做上去的!

    2006-06-22 15:37:36 補充:

    array區域應該都使用黃光燈光(類似暗房~待久了會想睡覺喔^^~因為燈光美~氣氛= =||...不怎麼好!機器太吵),主要是光阻液對光很敏感,就跟洗照片意思一樣曝完光後的東西在一般光線下會曝光過度!

    2006-07-10 08:59:48 補充:

    drain應該是射極!

    參考資料: 自己~半導體廠黃光段!也就是薄膜,上光阻,曝光,顯影,蝕刻,去光阻!
  • 1 0 年前

    drain汲極

  • H.P.
    Lv 5
    1 0 年前

    五道光罩指的是

    Metal 1 金屬層, 製作電晶體的(Gate) 閘極

    GIN 半導體層

    Metal 2 金屬層, 製作電晶體的源極(Source)及drain(忘記中文了...)

    Passivation 絕緣層

    ITO 透明金屬層

    2006-06-24 12:16:26 補充:

    Sorry,ITO 應該叫 透明導體層

    2006-06-24 12:19:07 補充:

    韭菜盒子講的是製作流程,

    完成每一道光罩應該都經過上面的流程

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