無塵室的發塵源?

Question

主要是針對無塵室 ,請各位幫幫忙解解答 ? 要有具體的答案喔 ! 非常感謝~~
（列舉愈多者愈佳）

DONKEY · Accepted Answer

無塵室的發塵源，應該要看不同的產業其發塵源也會有不同。茲將下列可能的污染源提供你參考。
 1. 導電地板 — 太髒，使用 Clean Room Wiper 擦拭時，附著太多Particle ，且有黑點狀況。建議改善：必須使用無塵室專用吸塵器 (HEPA FILTE CLASS100用 ) ，再用純水及無塵室拖把每日清理，使地板保持最乾淨。 
 2. 工作桌 / 機台 — 可明顯看到 Particle 建議改善：隨時使用 Clean Room Wiper ， I.P.A 或 DI Water 擦拭，且 Clean Room Wiper 必須要有吸濕率， Particle 要少，少是CLASS1000 用之 WIPER 擦拭乾淨。
 3. 直線壓克力隔板 — 肉眼可見有水痕跡，主要原因用一般之 Wiper( 未經評估合格 ) 及一般水擦拭使用，而造成留下明顯之水痕 (Particle 附著)建議改善：清潔公司之作業人員，採用合格之 Clean Room Wiper ，DI Water 擦拭，使其不附著 Particle 。
  4. 更衣鞋區 — 該區是無塵室與非無塵室交錯區，最容易附著 Particle區域。
A.導電地板：應隨時擦拭，將更鞋、更衣所產生之 Particle 隨時清除，至少 4 次 /DAY 。
B.簡明區域隔離：將更衣區分為 不同區域，愈接近air-shower的區域應該愈乾淨。
C.STICKYMAT-須經常撕換，保持最佳狀況，將鞋套之 Particle去除，而進入無塵室，減少污染無塵室。
 6. 無塵椅
A.採用一般切割海綿，當作業人員坐下時將Particle向外排出而污染無塵室
B.量測表面阻抗值為10(12) Ω/SQ 以上，此屬絕緣體當離開座位時會產生靜電而造成Particle聚集。
C.五金配件均採用烤漆，容易脫落，污染無塵室。
D.氣壓棒加油太多，產生油氣亦是Particle產生源。
E.輪子--一般絕緣體子，無法將靜電排除，綜觀上述，此乃屬一般為公椅子非無塵椅。 
 人員
 1. 衣服-是一般成衣做法，並沒有無塵室加工概念：
(1)粘扣;採用抓毛之粘扣，極易粘/附著其他線條。
(2)縫合之線非POLYSTER線產生毛絨絨，且易掉落污染產品。
(3)車縫技術極差-脫落、歪，脫離包縫位置區。
(4)CLASS 100之衣服、手腕部未採用內繡雙層保護，身體內部之 Particle極易溢出，而污染產品。
建議改善：重新評估，比較有SENSER之無塵衣制造商與供應商。 
   2. 鞋子
(1)量測表面阻抗10(8) Ω/SQ均合ESD協會之標準。
(2)採用四孔透風包鞋均不符合CLASS 100~1000之標準用。
建議改善：全面更改為長筒靴。 
   3. 口罩
(1)工作人員：口罩都是毛絨絨，快掉Particle，是非常嚴重之問題。
(2)來賓：採用紙口罩，僅適用10000~100000級。
建議改善：全面檢查不適合之口罩，來賓採用長織之不織布罩，但必須符合 CLASS 100級內使用。 
   4. 手套/指套：全程未帶手套，工作人員之手有手印，皮膚會脫皮，均會污染產品。指套：含有微量之粉塵。 
  建議改善： 
 A. 在半導體廠均採用P.V.C手套，評估時注意Particle、PIN、HOLE、ION等 
 B. 指套-確實採用無粉指套。 
 ………………………………………………………………………… 
 1. 檢驗工作站
桌墊：肉眼即可發現Particle，表示沒有擦拭。
不銹鋼桌--焊接都是凹凸，沒有磨平光滑，極易塞入Particle，實在不適合無塵室使用。
建議改善：採用Clean Room Wiper擦拭。
  2. 顯微鏡--部分採用海綿，此乃不適合無塵室用。
建議改善：立即更換，可採用防靜電桌墊取代，不產生靜電及Particle。 
 3. 氮氣櫃
(3)內部有非常多Particle、油漬。
(4)門鎖--生銹
建議改善：
A.全面使用I.P.A、Acceton、Clean Room Wiper擦拭，達到無塵室級用。
B.門鎖--立即更換
C.透明視窗--採用防靜電壓克力、P.V.C或擦拭乾淨。
    8. Die Bonder&Wire Bonder均屬於導體設備，不產生靜電ok。 
  1. 烤漆隔板--工程師告知為ESD烤漆隔板，經量測表面阻抗值為10(12) Ω/SQ，為一般絕緣烤漆隔板。 
 2. 隔離窗--材質P.V.C,僅一面為10(4)~10(6) Ω/SQ屬導體，另一面為10(12)Ω/SQ絕緣體，且亂裝，正面，反面不一致。
建議改善：全面導正，將導體面朝向CLASS 100區內，以確保磨擦時不產生靜電及CLEAN ROOM CLASS 100之清靜度。 
 3. 記錄紙--一般用紙
建議改善：全面採用Clean Room Paper。 
 4. 桌墊、桌面--隨時可以看到大顆粒Particle，實在談不上CLASS 100。 
 5. 人員衣服--特別加強其品質要求及規格要求。 
 6. 人員進出管制--非此區工作人員，不得進入。 
 7. 地板清潔--必須提高清潔頻率。

小山 · Answer

台航企業有限公司創立於1992年，成立以來致力於無塵室防靜電產品以及橡、塑膠產品研發供應的專業服務。 
我們主要服務對象為國內外電子高科技產業生產所需之無塵室相關設備及各項產品。 
新竹總公司:新竹縣竹北市光明九路351號     電話:03-6565819   傳真:03-6565823  E-mail:jekyll_tseng@taihang.com.tw
台中營業處:台中市南區工學北路63號17樓之3   電話:04-22654903 傳真:04-22655463 E-mail:jason@taihang.com.tw
有問題請歡迎來電

無塵室的發塵源?

2 個解答