無塵室的發塵源?
主要是針對無塵室 ,請各位幫幫忙解解答 ? 要有具體的答案喔 ! 非常感謝~~
(列舉愈多者愈佳)
2 個解答
- DONKEYLv 41 0 年前最佳解答
無塵室的發塵源,應該要看不同的產業其發塵源也會有不同。茲將下列可能的污染源提供你參考。
1. 導電地板 — 太髒,使用 Clean Room Wiper 擦拭時,附著太多Particle ,且有黑點狀況。建議改善:必須使用無塵室專用吸塵器 (HEPA FILTE CLASS100用 ) ,再用純水及無塵室拖把每日清理,使地板保持最乾淨。
2. 工作桌 / 機台 — 可明顯看到 Particle 建議改善:隨時使用 Clean Room Wiper , I.P.A 或 DI Water 擦拭,且 Clean Room Wiper 必須要有吸濕率, Particle 要少,少是CLASS1000 用之 WIPER 擦拭乾淨。
3. 直線壓克力隔板 — 肉眼可見有水痕跡,主要原因用一般之 Wiper( 未經評估合格 ) 及一般水擦拭使用,而造成留下明顯之水痕 (Particle 附著)建議改善:清潔公司之作業人員,採用合格之 Clean Room Wiper ,DI Water 擦拭,使其不附著 Particle 。
4. 更衣鞋區 — 該區是無塵室與非無塵室交錯區,最容易附著 Particle區域。
A.導電地板:應隨時擦拭,將更鞋、更衣所產生之 Particle 隨時清除,至少 4 次 /DAY 。
B.簡明區域隔離:將更衣區分為 不同區域,愈接近air-shower的區域應該愈乾淨。
C.STICKYMAT-須經常撕換,保持最佳狀況,將鞋套之 Particle去除,而進入無塵室,減少污染無塵室。
6. 無塵椅
A.採用一般切割海綿,當作業人員坐下時將Particle向外排出而污染無塵室
B.量測表面阻抗值為10(12) Ω/SQ 以上,此屬絕緣體當離開座位時會產生靜電而造成Particle聚集。
C.五金配件均採用烤漆,容易脫落,污染無塵室。
D.氣壓棒加油太多,產生油氣亦是Particle產生源。
E.輪子--一般絕緣體子,無法將靜電排除,綜觀上述,此乃屬一般為公椅子非無塵椅。
人員
1. 衣服-是一般成衣做法,並沒有無塵室加工概念:
(1)粘扣;採用抓毛之粘扣,極易粘/附著其他線條。
(2)縫合之線非POLYSTER線產生毛絨絨,且易掉落污染產品。
(3)車縫技術極差-脫落、歪,脫離包縫位置區。
(4)CLASS 100之衣服、手腕部未採用內繡雙層保護,身體內部之 Particle極易溢出,而污染產品。
建議改善:重新評估,比較有SENSER之無塵衣制造商與供應商。
2. 鞋子
(1)量測表面阻抗10(8) Ω/SQ均合ESD協會之標準。
(2)採用四孔透風包鞋均不符合CLASS 100~1000之標準用。
建議改善:全面更改為長筒靴。
3. 口罩
(1)工作人員:口罩都是毛絨絨,快掉Particle,是非常嚴重之問題。
(2)來賓:採用紙口罩,僅適用10000~100000級。
建議改善:全面檢查不適合之口罩,來賓採用長織之不織布罩,但必須符合 CLASS 100級內使用。
4. 手套/指套:全程未帶手套,工作人員之手有手印,皮膚會脫皮,均會污染產品。指套:含有微量之粉塵。
建議改善:
A. 在半導體廠均採用P.V.C手套,評估時注意Particle、PIN、HOLE、ION等
B. 指套-確實採用無粉指套。
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1. 檢驗工作站
桌墊:肉眼即可發現Particle,表示沒有擦拭。
不銹鋼桌--焊接都是凹凸,沒有磨平光滑,極易塞入Particle,實在不適合無塵室使用。
建議改善:採用Clean Room Wiper擦拭。
2. 顯微鏡--部分採用海綿,此乃不適合無塵室用。
建議改善:立即更換,可採用防靜電桌墊取代,不產生靜電及Particle。
3. 氮氣櫃
(3)內部有非常多Particle、油漬。
(4)門鎖--生銹
建議改善:
A.全面使用I.P.A、Acceton、Clean Room Wiper擦拭,達到無塵室級用。
B.門鎖--立即更換
C.透明視窗--採用防靜電壓克力、P.V.C或擦拭乾淨。
8. Die Bonder&Wire Bonder均屬於導體設備,不產生靜電ok。
1. 烤漆隔板--工程師告知為ESD烤漆隔板,經量測表面阻抗值為10(12) Ω/SQ,為一般絕緣烤漆隔板。
2. 隔離窗--材質P.V.C,僅一面為10(4)~10(6) Ω/SQ屬導體,另一面為10(12)Ω/SQ絕緣體,且亂裝,正面,反面不一致。
建議改善:全面導正,將導體面朝向CLASS 100區內,以確保磨擦時不產生靜電及CLEAN ROOM CLASS 100之清靜度。
3. 記錄紙--一般用紙
建議改善:全面採用Clean Room Paper。
4. 桌墊、桌面--隨時可以看到大顆粒Particle,實在談不上CLASS 100。
5. 人員衣服--特別加強其品質要求及規格要求。
6. 人員進出管制--非此區工作人員,不得進入。
7. 地板清潔--必須提高清潔頻率。
- 1 0 年前
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