ㄚ離 發問時間: 科學工程學 · 1 0 年前

有關SEM電子顯微鏡!!求救

在這方面我是門外漢, 希望高手幫助

1. 除了可以從相片觀察材料結構, 我還能獲得什麼資訊?

2. 我想借學校貴儀中心的SEM, 我的樣品需要有什麼樣的前處理??

我是做混凝程序的, 主要是要觀察混凝劑的吸附情形, 我需要先將樣品乾燥處

理嗎?

3. 吸附劑上的有機物質會影響機器嗎?

2 個解答

評分
  • 1 0 年前
    最佳解答

    SEM=Scanning Electron Microscopy

    由字面可以知道,這種機台是一種顯微鏡

    所以,所能獲得的資訊,就是顯微鏡所能得到的東西

    可以得到材料的表面形狀,尺寸(需校正機台係數,故尺寸為相對值)

    目前SEM可以讓材料做調整,可以得到2.5D的狀況(很類似3D,但尺寸無法精確表示)

    若機台有額外增加EDS,則還可做成分分析(利用二次電子的電位差,可得到材料的原子成分.)

    另外,SEM驅動電壓介於600~20000V之間(不一定,各機台軟硬體參數設定不同,可得的影像清晰度,尺寸大小也不同),會導致材料表面被破壞.(所以機台都有設定Auto Freeze,防止材料完全燒毀).(曾經把膠帶燒掉過)

    如果您材料在機台內的時間不長,可以不用乾燥處理.但是會影響觀察結果.這部份需要有經驗的人來幫忙確認材料的表面狀態.

    基本上SEM內是超高真空的狀態,有機物質大部份會被Dry pump抽走.但小部份會影響TIP的壽命(大部分都是等到影像不清晰,就換掉TIP).建議詢問機台操作或維修工程師.

    因為不知道貴校的SEM是什麼牌子型號,無法給您很正確的答案.

    以上是Hitachi CDSEM及Lica SEM的使用經驗.

    參考資料: Hitachi SEM工程師
  • 忠明
    Lv 4
    1 0 年前

    1. SEM主要是以二次電子或是背向散射電子觀察材料的表面形貌

    如果想得到其他的資訊

    例如成分的分析, 要看那台SEM有沒有加裝其他設備, 例如EDS

    2, 這方面最好親自詢問操作員, 各機台多多少少不一樣

    不過一般來說, SEM只要試片放的進去就好

    另外如果你的試片不導電, 在現場應該都有鍍膜機, 鍍金或白金

    以避免charging effect

    3. 建議這點要詢問操作員, 有的機器會怕這些物質可能會揮發

    進而污染腔體

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