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匿名使用者 發問時間: 新聞與活動最新活動 · 1 0 年前

光學無塵室設備的設備有那些呢?

光學無塵室設備的設備有那些呢?謝謝

光學無塵室設備的設備有那些呢?

已更新項目:

我想知道假設一間無塵室需要那些設備?謝謝!

2 個解答

評分
  • Amao
    Lv 6
    1 0 年前
    最佳解答

    一般光學等級無塵室需要有:

    無塵衣 帽 鞋

    Air Shower

    天花板上有很多個過濾箱,牆下要有很多個正壓排氣閥

    還要有專用空調

    一般也都會有一些正壓無塵工作桌

    牆上有幾個傳遞箱.......

    大概想到的就這些,其他的我等一下有空會去看看還有什麼設備

    若還有的話我再補充

    希望對您有幫助

    參考資料: 自己的工作環境
  • 1 0 年前

    你這樣問很籠統

    要看產品是什麼

    以及從事什麼樣的加工

    以半導體製造的黃光製程而言

    會用到的儀器大約包含

    1.光阻塗佈機:將光阻塗佈於晶圓上

    2.光罩:定義所需圖形用

    3.光阻曝光機:將光罩之圖形定義於已塗佈光阻之晶圓上

    4.光阻顯影機:將已定義圖形之晶圓上非圖形區之光阻除去

    (當然也有多功能合一的先進機種)

    5.光學顯微鏡:觀察產品狀況

    6.光學攝影設備:拍攝產品細部外觀

    我不知道這樣有沒有回答到你的問題

    參考資料: 自己
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