光學無塵室設備的設備有那些呢？
光學無塵室設備的設備有那些呢？謝謝
光學無塵室設備的設備有那些呢？
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我想知道假設一間無塵室需要那些設備?謝謝!
2 個解答
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- AmaoLv 61 0 年前最佳解答
一般光學等級無塵室需要有:
無塵衣 帽 鞋
Air Shower
天花板上有很多個過濾箱,牆下要有很多個正壓排氣閥
還要有專用空調
一般也都會有一些正壓無塵工作桌
牆上有幾個傳遞箱.......
大概想到的就這些,其他的我等一下有空會去看看還有什麼設備
若還有的話我再補充
希望對您有幫助
參考資料： 自己的工作環境 - 1 0 年前
你這樣問很籠統
要看產品是什麼
以及從事什麼樣的加工
以半導體製造的黃光製程而言
會用到的儀器大約包含
１．光阻塗佈機：將光阻塗佈於晶圓上
２．光罩：定義所需圖形用
３．光阻曝光機：將光罩之圖形定義於已塗佈光阻之晶圓上
４．光阻顯影機：將已定義圖形之晶圓上非圖形區之光阻除去
（當然也有多功能合一的先進機種）
５．光學顯微鏡：觀察產品狀況
６．光學攝影設備：拍攝產品細部外觀
我不知道這樣有沒有回答到你的問題
參考資料： 自己
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