雅音 發問時間: 科學其他:科學 · 1 0 年前

Spin-on process是什麼意思

Spin-on process是什麼意思

用在物理光學上的一種技術

但是我不確定是什麼意思

麻煩有這方面知識的朋友告訴我吧!謝謝

2 個解答

評分
  • 1 0 年前
    最佳解答

    spin-on process是在電子材料表面形成光阻膜或有機半導體膜等薄膜時所用的積層(deposition)技術

    先將精確量的液體前驅物(liquid precursor)塗佈在晶圓表面,再將晶圓以幾千rpm的速度旋轉,使液體塗層均勻分佈在晶圓表面,然後以低溫退火(low temperature anneal),逐漸讓溶劑乾燥及塗佈膜硬化

    原文:

    Liquid precursors are commonly used in semiconductor processing as source materials in the formation of thin film dielectrics, photoresist, organic semiconductors and others. The deposition method in these cases is typically a spin-on process in which well controlled amount of liquid is dispensed onto the substrate surface and distributed over it by centrifugal forces created by wafer rotation at thousands of revolutions per minute. Following deposition the wafer is subjected to low temperature anneal to drive solvents out and to solidify the film.

    參考網頁http://www.semiconductorhof.com/notes/ViewFile.asp...

  • 1 0 年前

    這是一種鍍膜的技術,也叫做spin coating。方法是把工作件固定在轉盤上旋轉,然後把液態或膠狀的鍍膜材料滴或擠到表面,讓旋轉的離心力將材料均勻散布。通常接下來需要加熱,讓薄膜硬化。相對於真空、濺鍍等其它鍍膜技術,spin coating比較不適合鍍太多層,而且薄膜的厚度也比較厚。相同的技術也常見於半導體製程,例如solder mask的塗布等。

    你打spin coating,應該可以找到許多相關的網站和圖片。

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