小鍾 發問時間: 社會與文化語言 · 1 0 年前

REGEN的中文翻譯

半導體機台有一ㄍ名詞叫REGEN求他的中文翻譯???集~~~~~

1 個解答

評分
  • 1 0 年前
    最佳解答

    Regen是Regeneration的簡稱。一般中文用「再生」解釋。

    最常用於CRYO PUMP上,它是目前半導體使用最普遍,乾淨無油高真空邦浦,抽氣範圍可達10E-2到10E-9Torr對水氣抽氣效率最高最大,因為是利用極低溫(約零下273。C)來捕捉氣體分子,但因一段時間後飽和後,需利用N2來Purge,將吸附捕捉的氣體分子用粗抽PUMP抽走,此過程稱為「Regen」。

    參考資料: ME
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