kellylan 發問時間: 科學工程學 · 1 0 年前

SEM的艙門破完vacuum不會自己滑開

呃~

之從我們公司的機台換到不同的房間後,

(之間機台擺放有微微角度)

每次破完真空後,都還要稍稍的輕碰才會打開

不過,最近幾次輕碰已經打不開了,要小"扣"它才會打開

這樣是不是很危險呀!很怕裡面的薄膜會破,30~40 萬吶,好可怕唷!有沒有人知道這麼解決,還是要請廠商來呢?

已更新項目:

GUN Alignment到底要這麼看呀!

每次我調好後,都覺得是原地晃動呀!並沒有左右或上下

不過我前輩來看就算我還沒調到定位= ="

有沒有方法呢?

2 個已更新項目:

好像 是蝴蝶閥壞了,所以要聯絡廠商了

機械式的

1 個解答

評分
  • 1 0 年前
    最佳解答

    機台

    型號....

    另外如果打不開

    可能是真空計出問題

    還沒達到1atm就停止充氣

    gun alignment

    也有硬體alignment及軟體aligmnent

    你要的是哪種?!

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