天生寵兒 發問時間: 社會與文化語言 · 1 0 年前

可以麻煩專業的英文高手幫我翻譯嗎?(這次有關半導體的內容)

Control of process chamber pressure with a feedback system that adaptively controls the throttle valve to adjust the inlet gas and the gas pumping rate.

Pressure sensor is usually a capacitive manometer.

Gases are provided by mass flow controls.

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3 個解答

評分
  • 思璠
    Lv 4
    1 0 年前
    最佳解答

    控制過程腔壓力與反饋制度,即自適應控制節流閥,以調節進氣和煤氣抽水率。

    Control of process chamber pressure with a feedback system that adaptively controls the throttle valve to adjust the inlet gas and the gas pumping rate.

    壓力傳感器通常是電容式壓力計。

    Pressure sensor is usually a capacitive manometer.

    氣體是由質量流量控制。

    Gases are provided by mass flow controls.

  • 博仁
    Lv 6
    1 0 年前

    大意如下(沒有逐字照翻)

    反應腔的壓力控制是藉由回饋系統控制節流閥來調整進氣速率

    壓力感測器常用電容式的壓力計

    氣體流量由質流量控制器(MFC)控制

  • 匿名使用者
    1 0 年前

    處理分庭壓力控制以能適應控制節流孔閥門調整入口氣體和氣體抽的率的反饋系統。壓力傳感器通常是一臺電容測壓器。氣體由流量控制提供。

    參考資料: 小幫手
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