什麼是RS值(sheet Resistance)

請問半導體產業裡面機台方面所講的RS值是代表什麼?

如果RS過高 會影響什麼?或表示什麼呢?
或是說 什麼情況會導致RS過高?

請有在竹科半導體產業PM的工程師回答一下,謝謝!!
2 個解答 2