匿名使用者
匿名使用者 發問時間: 科學工程學 · 1 0 年前

什麼是RS值(sheet Resistance)

請問半導體產業裡面機台方面所講的RS值是代表什麼?

如果RS過高 會影響什麼?或表示什麼呢?

或是說 什麼情況會導致RS過高?

請有在竹科半導體產業PM的工程師回答一下,謝謝!!

2 個解答

評分
  • 最佳解答

    其定義應為單位面積阻值(or 1 square 阻值)% c4 a; G, c& k+ X

    因現有製程為一層層 poly, metal, contact or via所堆疊起來7 d* O3 i6 @( L9 R% D2 t- ^ F6 N

    基本上各層 layer的厚度(H)是固定的! T( V% E `9 j5 n

    所以各層layer的阻值 正比於 L/W+ l4 F: X P# J8 u: H* G% K$ ]

    若L=k*W9 E2 T5 m6 K& ^& k+ }3 W

    則可推得R=k*sheet resistance

    主要是t(厚度)已經固定了,依照電阻公式,基本上由於其他項目並非是屬於電路設計者可以規範的,而是視者製程提供的,他將所有的參數濃縮簡化成為在一固定的面積之下,會有多少的阻抗。A=L*W,所以若是你需要電阻就看他規範一個單位電阻有多少,然後就除一除弄多少塊上去。

    : L3 H2 G: l+ U0 Z0 ~: D

    1 B) K' ]1 K1 y( A3 V6 r關於單位是Ω / sq,並且他的參數的萃取方式是在一長條型並且有接上端點的一塊區域去量測阻值,範圍是25度C到125度C。2 U" z' {, N' P- g2 o+ ^; u5 s( g

    接面會有接觸電阻,轉彎阻抗也會不同,所以這部份需要在layout上面稍微調整調整,光看那個表覺得蠻難完全用手算的。

    每一家公司的製程技術不同,即使同樣是0.5um製程,所作出來的電阻值也不一樣) n1 n+ L$ d% V& x0 X

    所以,每一家都會定出各個材料的每單位電阻係數,如p+為165, metal1為70等等

    當然,因為無法將摻雜的濃度作到均一致,所以都會定出min/typical/max等數值5 S }( m) G1 P* L" G& M

    而電阻的算法就如前面幾位所言,電阻的R=(L/W)*電阻係數3 D# a* [+ ~' }0 q' b. F

    不過,這只是考慮製程上的算法/ s6 w+ D' ]% r" D, X% K6 k7 I+ W

    我們在計算電阻時,都還會加入temperature coefficient和voltage coefficient這兩個情況

    因為電阻在不同的溫度和兩端電壓時,其電阻值均會有所不同

    7 故而,想要更接近實際模擬IC內部的電阻,視必要考慮其溫度和電壓所帶來的影響, g8 O3 k" Z7 }: P* L

    至於temperature coefficient和voltage coefficient的值和公式,每一家製程廠都會提供,只要依值帶入就可以了) |6 o( B/ m$ Z/ h& |, ~1 {

    當然啦,我們都是把它寫成一個subcircuit來用

    每當要模擬時,只要在netlist file的電阻有其電阻type, L和W值,再呼叫相對應的電阻subcircuit就可以計算到公式算出來的電阻值,並帶入temperature coefficient和voltge coefficient的情況

    參考資料: 天之心
    • 登入以對解答發表意見
  • 博仁
    Lv 6
    1 0 年前

    樓上的已經解釋了RS, 我就直接跟你講應用

    機台監控RS 通常是測控片的RS

    因為測試的製程條件是固定的 所以RS可以代表 "膜厚"

    RS過高 表示膜厚偏低

    各機台條件不同 你得要看是什麼因素造成膜厚偏低

    譬如說 是校溫跑掉了 還是氣體流量跑掉了 諸如此類的問題

    參考資料: 個人認知
    • 登入以對解答發表意見
還有問題?馬上發問,尋求解答。