Chuck守守 發問時間: 科學工程學 · 9 年前

材料表面工程問題

1、何謂電漿?它如何產生?

2、在直流濺鍍中電漿電子的平均自由徑和(1)靶材與基板間距,(2)氣體壓力對濺

鍍效率有何影響?

3、計算鈦原子分別被10KeV動能的氧離子和氬離子直接碰撞的動能轉移量。

TiO2ArH2

離子半徑(Å)0.6051.410.012

原子半徑(Å)20.650.880.79

相對原子質量4816401

4、濺鍍方式友直流二極式(diode)、三極式(triode)、磁控式(magnetron)及高頻

式(radio frequency,rf),試述其特性。

5、求氬原子在25℃、1atm、1torr及0.001torr之平均自由行程。氫原子之直徑

為3.64 Å。

6、試描述粒子撞擊固體表面的效應為何?

7、試計算氫氣、氧氣和氬氣下的平均速率為何?

8、電鍍、陽極處理、PVD製程、CVD製程與ALD製程的差異為何?

9、何謂真空?高真空、低真空與超高真空差異?何謂氣流通量。

10、一白金電阻溫度計在冰點、錫點及鋅點作一校正,量得其電阻分別為25.544、

48.343及65.609Ω,(1)繪圖溫度和電阻之曲線,(2)如該溫度計之電阻為

50.052Ω,請問溫度為幾度?

11、試描述電子撞擊原子的非彈性碰撞有哪些狀態?

12、直流放電有哪三種類別?分別說明之。

13、某一電漿之離子和電子密度為ni=ne=1010/cm3,電子溫度為11600oK,試求其德

拜長度。

14、請說明蒸鍍過程中的餘弦定律(Cosine law),舉例說明克服鍍膜厚度不均勻的

方法。

15、計算氫氣、氧氣和氬氣在長溫下的平均速度。

16、射頻濺鍍過程中RF電源供應器功率受電流與電壓的變化,試說明。

2 個解答

評分
  • 9 年前
    最佳解答

    1. 3-3第一段,3-4最右邊下面

    2. 5-6右下角

    3. 3-3頁

    4. 5-13,5-21

    5. 4-9 (4-15)

    6. 5-3第一段

    7. 4-6 (4.2)

    8. -

    9. 2-16右下表

    10. 2-15

    11. 3-3

    12. 3-4~3-7

    13. 3-15頁 (3-10)

    14. 4-13 4.5圖,4-17右上角

    15. 4-6 (4-8)

    16. 5-21有解釋 5-20圖

    計算題自行算,翻書吧!!

    參考資料: 表面與薄膜處理技術(修訂版)
  • 9 年前

    自己的作業自己做!!

    參考資料: Recourses for Materials Science And Engineering(材料科學與工程學習資源)
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