智超 發問時間: 科學工程學 · 10 年前

擴散幫浦使用方法

請問擴散幫浦一兩天不使用時,需不需要保持在真空的環境?或是說需不需要破真空曝大氣(vent)?理由是什麼?

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感謝yzpeng的回覆.

如果更長時間不使用,例如一個星期都沒用到,是否也要一直保持在低壓的環境呢?

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2 個解答

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  • yzpeng
    Lv 5
    10 年前
    最佳解答

    Diffusion Pump不使用時,會置於真空環境,不會暴露到大氣下 你真空腔體不使用時,會不會維持在真空環境?

    亦或是直接把腔體打開暴露在一大氣壓下?真空組件若是吸附到空氣中的水氣,抽氣時間就會拉很長。不知道你有無經驗?濕氣重時開腔體與濕氣低時開腔體,假使腔體暴露大氣的時間相同,則腔體達到相同的壓力下(如5E-7 Torr),時間會有差的。濕氣低時會比較快,因為吸附的水氣相對少。而且,一般為了避免油蒸汽回流,會在D.P頂端設置一個cold trap

    運作時會放置LN2(液態氮)停機時,cold trap內的LN2也許還沒完全耗盡,你若讓DP暴露於1atm下,DP內的cold trap會抓取大量的水氣,等到LN2耗盡時,凝結於cold trap表面的水氣會慢慢滴出來(好像冰溶解一樣),會滴到DP底部的擴散幫浦處與油混合;徹底達到水**融的地步。ps. 環繞在DP外圍的冷卻水管也會造成水氣凝結;特別是夏天濕氣重時,常可在腔體(最容易觀察)外的金屬冷卻水管上看到水氣凝結;腔體內因為是真空,所以不會有這個現象

    請參考

    2010-12-31 14:36:44 補充:

    例如一個星期都沒用到,是否也要一直保持在低壓的環境呢?

    是阿,除非是要拆PUMP或維修,否則都是維持在真空中,

    如同下雪的說明,要停機時,一定是先關主閥門,把腔體獨立開來(維持在真空)

    當然腔體內會由於out-gasing的關係(假設沒有漏氣)最後壓力會緩慢上升

    至幾個Torr(看系統狀態,不一定), anyway,他一定還是在真空下

    接者,要關DP時,也不可能開關一關就走人,一定是關了DP的開關後,

    讓MP繼續抽氣體順便冷機(冷DP), 最後再關閉前抽閥及MP,

    所以DP一樣會維持在真空的環境下,即便他也會有out-gasing

    2010-12-31 14:36:52 補充:

    但相對來說,還是在真空內.

    除非維修,相信所有的高真空pump關機時都不會破真空至一大氣壓下與空氣接觸

    Cryopump, Turbo-molecular pump, Diffusion pump等,關機時都會與大氣隔離.

    PS 我這裡有一台快 5 年都沒使用的熱蒸鍍機(DP系統), 都一直維持在真空狀態下

    當然是低真空狀態

  • 下雪
    Lv 7
    10 年前

    一個真空系統,假設不再運作好了,那會慢慢的把高真空幫浦關掉至低真空幫浦,最後全部關掉,並把閥關閉,所以最後全部關掉時,壓力是會慢慢上升的,有時候,我們並不希望大氣進入,所以高真空的地方讓他自己回到大氣,低真空部分則利用大氣回到常壓,這樣高真空腔體部分汙染較少,而能不能這樣做,就看你有沒有設計閥門,隔開高真空與低真空區域,有才能如此做,通常高真空儀器會如此設計。

    2010-12-31 13:37:25 補充:

    你說的那個幫浦,他的裝置點應該很靠近主腔體,主腔體部分幾乎是不用大氣破真空的,而是直接關掉自然回到常壓,而關閉閥門之後,他四周圍的地方才會開閥以大氣破真空,並關上閥,或者不破真空,仍以低真空幫浦持續抽,維持在低真空。

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