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匿名使用者 發問時間: 科學其他:科學 · 8 年前

氬氣壓力表 只偵測管路內的氬氣

如題,裝在管路中段的Ar 壓力表,顯示的壓力值,是屬於管路的的氬氣壓力,還是管路中所有氣體的壓力??

會這樣問是因為想知道管内的氣體是否僅有Ar。

現象:

厰物端 Ar壓力慢慢往下掉直到0,而接到設備端的MFC,其實際流量值又是正常。

2 個解答

評分
  • 8 年前
    最佳解答

    管路中段的Ar氣壓力表,顯示的壓力值,是屬於管路的氬氣壓力。廠物端Ar氣壓力慢慢往下掉直到0。但實際上它不是0,因為管路的氬氣由液氬氣化,壓力約200kgf/cm²,使用的壓力表都為0〜250kgf/cm²,或0〜350kgf/cm²(如圖)。因為使用的壓力表刻度大餘壓看不出來。應該在設備端的MFC,加裝一個0〜6kgf/cm²(如圖)壓力表,這樣就看得到壓力了。因為設備端的MFC不需那麼高的壓力,所以管路的氬氣到設備端的MFC,有裝一個調壓閥再到設備端的MFC。

    圖片參考:http://imgcld.yimg.com/8/n/AD05607005/o/2013022020...

    參考資料:
  • JON
    Lv 6
    8 年前

    其中一項出了問題,是壓力表問題,還是流量計問題,

    用手測就知道了

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