半導體設備中,爐管的照片
你可不可以找一些有爐管的設備的照片,
因為我根本不知道我所找到的照片是不是對的,
也不知爐管等零件的位置及名字
像是鎢舟,真空幫浦,加熱裝置等 裝置的位置
爐管本身沒有加熱的功能對不對
有爐管的設備的名稱是什麼,我要的是專有名詞,
我以後可以拿來當關鍵字搜尋
1 個解答
評分
- 祺義Lv 67 年前最佳解答
這一篇介紹一種爐管 蠻清楚的
http://www.ndl.org.tw/cht/doc/3-1-1-0/T16/T16_C.pd...
奈米實驗室用的垂直型爐管,可以參考
http://www.ndl.narl.org.tw/cht/doc/3-1-1-0/T13/T13...
別人的論文, 看爐管那部分就可以
http://www.me.tnu.edu.tw/study/proj/proj90/90-14%B...
裡面有很多關鍵字,可以拿來發揮
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