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匿名使用者 發問時間: 科學工程學 · 7 年前

什麼是靶材?其功用?靶材是不是ITO的其中一種材料?

什麼是靶材?其功用?靶材是不是ITO的其中一種材料?

用在觸控上最常用的靶是哪一種材料?

5 個解答

評分
  • 7 年前
    最佳解答

    靶材一般是指磁控濺鍍所使用的來源(消耗品)

    利用RF產生器在靶材及被濺鍍物間產生電漿場

    靶材的元素就會離子化而轟擊(濺鍍)至被濺鍍物上

    ITO(銦席氧化物)是靶材的其中一種材料 其他常用的還有ZnO CdS等等

    在觸控面板所用的透明導電膜上,ITO及ZnO是最常被使用的

    主要是光學(透光度)上的優秀特性

    參考資料: 自己研究所論文的其中一部份研究內容
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    7 年前

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  • 匿名使用者
    7 年前

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  • 7 年前

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  • 7 年前

    靶材是PVD裡面提供材料的來源,其靶材種類可分,金屬跟非金屬(陶瓷氧化物),主要都是裝在濺鍍機上的陽極靶制具上,皆由高電為加速氣體分子,與電流控制他的撞擊力道與深度,把靶材分子從靶材上撥離,沉積到被鍍物上。

    常見的非金屬 靶材有ITO,ZNO,IZO等氧化物材料,主要用在透光導電玻璃上做導電層.

    常見的金屬靶材有金,銀,鋁,銅,錫,銦等材料,通常有使用保護氣體的純金屬膜濺鍍,跟氣體合成的氮化物或氧化物濺鍍,也有多槍混和物的合成濺鍍。

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